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      氣態分子污染物(AMC)對電子半導體制程的影響

      2022-12-03

      氣態分子污染物(AMC)對電子半導體制程的影響

      隨著半導體制程技術的飛速發展,芯片線寬已經進入納米級。半導體晶圓關鍵尺寸微小化,對電子半導體潔凈廠房這類特殊建筑的生產環境的潔凈度也提出了更高的要求,氣態分子污染物(AMC)已成為影響產品制程產率的主要關鍵因素之一。

       

       

      對微電子制造業來說,空氣環境中產生的有害物質危害生產車間和產品,并因此引起成品良率降低的化學物質,稱為分子級污染物或氣態分子污染物(AMC)。

      分子污染物大小比顆粒污染物小得多, 相差幾個數量級,高效過濾器(HEPA) 或者超高效過濾器(ULPA) 無法去除分子污染物(AMC)。常見的氣態分子污染物(AMC)分類:

       

       

      氣態分子污染物(AMC)對電子半導體制程的影響主要表現為表面分子污染,這是由氣態分子和特定表面作用而形成非常薄的化學膜,化學膜通常改變產品表面的物理、電子、化學和光學特性,主要表現在以下幾個方面:

      • 導致光阻層表面硬化T型缺陷

      • 硼磷摻雜不受控

      • 導致不能控制蝕刻速度,鄰苯二甲酸二丁酯(DOP)易附著于晶片表面形成碳化硅SiC

      • 引起閾值電壓改變,硼元素、三氟化硼等氣態污染物,會引起晶片表面污染

      • 污染物氣體如氟化氫、氯化氫、硫酸、磷酸、氯氣、氮氧化合物等,引起晶片表面污染,導致金屬化制程中的金屬附著力下降

      • 污染氣體導致芯片內連接導線因腐蝕而報廢

      • 造成掩模及步進設備上光學鏡面模糊

      • 導致設施和設備腐蝕而停機

       

       

      晶圓表面污染的種類及其對元器件的影響

       

      案例:萬維凈化為某晶圓企業提供AMC控制解決方案

      某晶圓企業對AMC控制的需求

      某晶圓企業主要從事高品質集成電路用半導體晶圓片的研發與生產制造。實現了從半導體單晶硅棒拉制到100mm~300mm半導體晶圓片加工的完整生產。擁有9條8英寸生產線、2條技術成熟的12英寸生產線,具備年產能240萬片/300mm、480萬片/200mm、480萬片/150mm,生產車間對控制質量要求非常高,為了確保產品生產良率達到99.99%,半導體生產車間對空氣潔凈技術提出了更高要求。

       

      萬維凈化提供“根除”氣態分子污染物(AMC)的解決方案

      針對晶圓企業對空氣潔凈度的需求,萬維凈化通過采樣、現場勘測、技術診斷,評估潔凈室內、外部空氣質量,確認氣態分子污染物(AMC)主要成分及濃度,針對性提出最匹配實際環境需求的解決方案,選用了除酸化學過濾器、除堿化學過濾器等平板型化學過濾器,實現了對氣態分子污染物(AMC)的控制。在保證能耗降低的同時,達到了最佳空氣凈化效果。

       

      產品科普

      平板型化學過濾器是一種高效去除空氣中顆粒和氣態分子污染物的復合式過濾器,廣泛應用在AMC污染腐蝕控制工程中,主要搭配風機過濾機組(FFU)使用,也可作為送風口或回風口的化學過濾組件,復合式的結構設計使濾材充分發揮過濾功能,根據現場環境的AMC種類和濃度,定制化設計過濾材料和框架材料,讓空氣更潔凈。

       

      平板型化學過濾器

       

      產品優勢

      • 高效過率,針對不同污染物定制配方;

      • 低阻力,無氣體旁通,無遞增壓損,節能環保;

      • 無灰塵釋放,具有一定的粉塵過濾效果;

      • 使用壽命長,通過化學吸附法去除氣態污染物,氣態污染物與濾料發生化學反應,有效杜絕空氣環境的二次污染,永久去除氣態污染物。

       

      采用化學反應技術

      化學反應技術原理

       

      污染物同吸附劑中的化學物質發生化學反應,從而達到去除污染物的目的。該過程非常特殊,采用化學反應技術,過程速度很快,并且是不可逆的,可以將有毒有害氣體通過化學反應氧化為無害的固體。

       

      認證齊全

      • 產品經過多種第三方專業檢測機構認證,安全 無毒 無害 不產生二次污染。

      • 具備SGS RoHS EU CE等多種檢測報告。

       

      質量控制

      萬維凈化質量部門,根據規格和制造工藝對質量進行把控,從開發到運行,從原材料到成品 多環節控制檢查,多種檢測設備。

      萬維凈化化學過濾器檢測平臺專門針對化學過濾器過濾性能的檢測,通過模擬受控污染環境內過濾器過濾裝置,檢測過濾器在不同污染物濃度環境下過濾效率、壓阻、容污量、持久性等性能的變化,幫助企業設計開發出高效改善環境空氣質量的過濾產品。符合標準ISO10121-2、T/CRAA438.2。

       

      化學過濾器全尺寸檢測臺

       

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